วาล์วประตูมีด

โครงสร้างวาล์วควบคุมแรงดันการไหลข้ามมีความน่าสนใจสำหรับการใช้งานควบคุมแรงดันการไหลสูง เนื่องจากต้องใช้แรงกระตุ้นที่ลดลงและพื้นที่เท้าของอุปกรณ์ลดลง วาล์วประตูมีดถูกประดิษฐ์ขึ้น โดยควบคุมการไหล 1.3 นิวตัน/นาทีที่แรงดันจ่าย 1.5 บาร์ วาล์วถูกประดิษฐ์ขึ้นในระดับไมโครโดยใช้การกัดเซาะด้วยไอออนที่มีปฏิกิริยาลึก (DRIE) และพันธะซิลิกอนฟิวชัน การใช้วาล์วประตูมีดกลึงขนาดเล็กในระบบควบคุมแรงดันช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและประหยัดต้นทุนได้